退火后透度达95%的氮化硅晶圆

真空退火炉的常见几个应急处理方法真空退火炉是一种用于不锈钢拉深件如水暖器材、水胀件、销、医疗器械、不锈钢钉、不锈钢镙丝、压铆件、不锈钢轴承、表壳、表带、刀具、微型轴、自攻自钻、餐具等不锈钢制品在保护气氛控制下进行连续光亮退火、固溶、退磁及不锈钢淬火处理的多用炉。本文介绍的是真空退火炉的常见几个应急处理方法。1、在真空退火炉生产过程中发生停电时，导致退火炉降温、冷却水泵停止运行，怎么办？（1）封锁氢氮混合气输气管阀门，打开氮气输气管阀门，将退火炉中的氢气排出。（2）冷却水转···