产品类别：晶圆退火
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卧式晶圆退火炉
******温度：1100℃
加热尺寸（有效空间）：Φ300 长1000mm
加热元件：电阻丝、灯管加热
适用于：4-8英寸晶圆硅片退火、氧化等热处理
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